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保养激光切割机的聚焦激光镜片要注意

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保养激光切割机的聚焦激光镜片要注意

发布日期:2022-08-22 作者:翊成网络g 点击:

在探测器制造加工工艺中,很多都涉及清洗技术,如芯片制作期间的基片清洗,外延生长片的清洗,镀膜加工前基片的清洗,以及滤光片等光学元件加工的清洗等。

随着科技的发展,半导体器件的生产对清洁度的要求越来越高。也不断有复杂的新洗净系统和设备投入使用。在光学仪器、精密机械以及电子机械领域也越来越多地需要精密工业清洗。无论是半导体薄膜的生长还是基于半导体薄膜的器件制备,衬底的清洗和处理是必不可少的一个环节。


激光镜片


激光镜片镀膜前经过一系列的清洗过程之后,在基片放入真空室的过程中以及在真空室抽取真空的过程中,装入镀膜设备真空室以及进行蒸镀前,基片均有可能被二次污染,从而影响滤光片蒸镀效果和薄膜特性,通常采用离子束清洗技术,对基片进行的Z后一道处理,以消除二次污染,保证基片在镀膜前的真正清洁。离子束清洗技术的清洁机理是: 吸附或黏附在基片上的污物在高能离子束的轰击下脱离基片; 或通过高热能的氧离子氧化污物分子,使它易于被离子碰撞而脱离基片。

保养激光切割机的聚焦激光镜片要注意以下三点:

1.   聚焦镜片材料为ZnSe(锌化砷),比较脆,怕摔;在拆装时要注意:不能过于用力,不能和硬物发生碰撞。表面有增透膜,怕污染、怕湿、怕油性、怕刮擦;故要求在工作中提供干燥、去油的空气,千万不要直接用手处理激光切割机聚焦镜的镜片,因为皮肤油脂会对镜片表面产生永久性的伤害。相反的,您可以带手套及其专用套具进行操作,对更小的镜片,使用光学镊子或真空镊子会更方便。不管用什么方法来夹激光切割机聚焦镜,只能沿非光学表面夹持,比如镜匾边的磨砂边缘。

2.一般情况下,在使用前和清洁的前后都需要检查激光切割机聚焦镜的情况。因为大多数污染物和表面缺陷的尺寸比较小,在检查镜片时我们经常需要用到放大设备。除了放大设备,有时我们还需要用一束比较亮的光来照射光学表面,增强表面污染物和缺陷的镜面反射强度,这样可以更容易地发现污染物和缺陷。

3. 当清洁一个激光切割机聚焦镜时,经常使用干净的擦拭纸和光学级别的溶剂,以防止被其他污染物破坏。擦拭纸必须用合适的溶剂润湿,千万不能干燥使用。处于对柔软度的考虑,可用的擦拭纸为纯棉的Webril擦拭纸或者棉球,镜头纸,和棉签等涂敷器。


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