保养激光切割机的聚焦激光镜片要注意

在探测器制造加工工艺中，很多都涉及清洗技术，如芯片制作期间的基片清洗，外延生长片的清洗，镀膜加工前基片的清洗，以及滤光片等光学元件加工的清洗等。

随着科技的发展，半导体器件的生产对清洁度的要求越来越高。也不断有复杂的新洗净系统和设备投入使用。在光学仪器、精密机械以及电子机械领域也越来越多地需要精密工业清洗。无论是半导体薄膜的生长还是基于半导体薄膜的器件制备，衬底的清洗和处理是必不可少的一个环节。

激光镜片镀膜前经过一系列的清洗过程之后，在基片放入真空室的过程中以及在真空室抽取真空的过程中，装入镀膜设备真空室以及进行蒸镀前，基片均有可能被二次污染，从而影响滤光片蒸镀效果和薄膜特性，通常采用离子束清洗技术，对基片进行的最后一道处理，以消除二次污染，保证基片在镀膜前的真正清洁。离子束清洗技术的清洁机理是: 吸附或黏附在基片上的污物在高能离子束的轰击下脱离基片; 或通过高热能的氧离子氧化污物分子，使它易于被离子碰撞而脱离基片。

保养激光切割机的聚焦激光镜片要注意以下三点：

1.   聚焦镜片材料为ZnSe（锌化砷），比较脆，怕摔；在拆装时要注意：不能过于用力，不能和硬物发生碰撞。表面有增透膜，怕污染、怕湿、怕油性、怕刮擦；故要求在工作中提供干燥、去油的空气，千万不要直接用手处理激光切割机聚焦镜的镜片，因为皮肤油脂会对镜片表面产生永久性的伤害。相反的，您可以带手套及其专用套具进行操作，对更小的镜片，使用光学镊子或真空镊子会更方便。不管用什么方法来夹激光切割机聚焦镜，只能沿非光学表面夹持，比如镜匾边的磨砂边缘。

2.一般情况下，在使用前和清洁的前后都需要检查激光切割机聚焦镜的情况。因为大多数污染物和表面缺陷的尺寸比较小，在检查镜片时我们经常需要用到放大设备。除了放大设备，有时我们还需要用一束比较亮的光来照射光学表面，增强表面污染物和缺陷的镜面反射强度，这样可以更容易地发现污染物和缺陷。

3. 当清洁一个激光切割机聚焦镜时，经常使用干净的擦拭纸和光学级别的溶剂，以防止被其他污染物破坏。擦拭纸必须用合适的溶剂润湿，千万不能干燥使用。处于对柔软度的考虑，可用的擦拭纸为纯棉的Webril擦拭纸或者棉球，镜头纸，和棉签等涂敷器。