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目前彩色滤光片之主流制作方式

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目前彩色滤光片之主流制作方式

发布日期:2022-12-12 作者:翊成网络g 点击:

彩色滤光片制造方法包括染色法、颜料分散法、印刷法、电镀法、喷墨法等,其中颜料分散法由于在颜色特性、质量、可靠性等方面均占有优势,因此成为目前彩色滤光片之主流制作方式,而所谓颜料分散法之彩色滤光片制造工程,包括黑色矩阵工程、RGB工程、后工程、出货工程。

首先在黑色矩阵工程,是先在无碱之硼玻璃基板上以溅镀形成氧化铬/铬之低反射二层膜,作为基板使用,此低反射二层膜即称为Metal Black。

然后,再将Metal Black侧之正型光阻以旋转涂布(Spin Coating),再经由黑色矩阵的光罩图案,照射紫外线并加以曝光、光阻显影后,将Metal Black蚀刻,形成黑色矩阵(BM)图案。

之后,在黑色矩阵之图案形成后,接着再到RGB工程,所谓RGB工程就是在开口部形成R、G、B三色图案的工程,首先将着色为R的彩色光阻以Spin涂装,经由R用图案光罩,照射紫外线并曝光,再使用碱性系显影剂将未曝光部份去除,形成第一颜色用的R图案,再施于摄氏200度以上的后烤(PostCoating),使图案具有耐药性,接着以形成R图案相同的工程重复在G及B上,各图案之间均有黑色矩阵加以隔开,此功能是为增加显示时之对比度及避免杂色光产生。


彩色滤光片


接着在后工程方面,是形成TFT Array基板之相对电极的ITO透明电极层,即为彩色滤光片,出货工程即为最后检查及捆包。

彩色滤光片制程技术关键须注意的是RGB三色间的段差,段差会影响到液晶表现,段差如过大则显示会有断层产生,另外,RGB工程为高温制程,因此原材料选择须有耐药性不会发生衰退,再则BM主要为隔绝RGB三颜色,为提高颜色对比的关键,且BM一般均要求低反射,反射愈低愈好,色彩表现也会愈好。

光学滤光片窄带滤光片随环境温度变化发生的漂移可以归因于薄膜材料的折射率温度系数及其热膨胀系数。窄带滤光片的光学特性对温度变化比较敏感。对于具有正温度系数的材料,当温度变化很小时,随温度的上升,最主要的影响就是波峰向长波方向移动;当温度变化较大时,通常滤光片的湿气会放出来,有可能引起波峰向短波方向移动。

分析其光学性能与聚集密度、温度变化和吸湿等因素之间的关系。根据吸湿及温度引起窄带滤光片各层膜的厚度误差,给出了吸湿前后及温变前后光谱漂移的模型。通过对窄带滤光片的光学稳定性进行分析和初步实验,提出了改善窄带滤光片光学性能的措施。


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